无阀微泵锯齿形流道性能研究,关炎芳,张国贤,介绍了应用于无阀压电微泵锯齿形流道工作的基本原理,基于扩散管/收缩管整流特性分析,建立了锯齿形流道整流效率表达公式,采用�