溅射功率对磁控溅射法硼膜性能的影响,杨溢铭,黄健,由于硼、富硼薄膜所具有的独特性质,比如高熔点(约2500K)、低密度、高硬度、好的热电特性及中子屏蔽特性等,近年来受到大家的广�