为了研制稳定、高性能智能化的超声波电发生器，设计了一种基于PWM移相串联谐振式大功率超声波 电源。系统控制超声换能器工作在并联谐振点，通过串联电感的方式实现振动系统的电端匹配，提高电 源的效率；采用UC3875产生移相控制波形改变全桥逆变器的导通角，调节输出功率，以实现对电源的功 率控制；采用硬件锁相环电路CD4046，完成了对系统的频率跟踪。试验结果表明，该控制方法电源稳定 性高，动态响应速度快，频率跟踪精度达到85．7％。