论文研究 SOD晶体管和SOI晶体管的DIBL参数和热效应的调查和比较并通过改变其BOX厚度来改善它们
在本文中,利用流体动力学模拟研究了沟道长度为22 nm的绝缘体上硅(SOI)和金刚石上硅(SOD)晶体管的热效应和漏极诱导势垒降低(DIBL)。 与二氧化硅的热导率相比,金刚石的热导率明显更高。 因此,金刚石硅晶体管中的热传递更快。 SOD的晶格温度低于类似SOI的晶格温度。 通过在第一晶体管导通并处于活动状态的集成电路中使用SOD,相邻晶体管将具有与活动晶体管相同的热量。 结果,DIBL因子将增加; 这是CMOS应用中不希望的现象。 为了解决这个问题,我们提出了一种新的方法,即减小晶体管内部的埋入金刚石层的厚度。 由于这种变化,有源晶体管的DIBL将得到改善,侧面晶体管的多余晶格热量将通过器
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