微米、纳米及微纳米复合金刚石涂层的制备和性能研究

微米、纳米及微纳米复合金刚石涂层的制备和性能研究，邓福铭，刘畅，采用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition)法制备的金刚石涂层在硬质合金工模具领域的应用受到了广泛关注。本文在优化的工艺参数下，分