使用3D建模工具简化MEMS设计的解决方案.pdf

MEMS设计中日益增加的复杂性和个性化需要进一步理解制造成功制造的制造细节。MEMS制造和设计紧密耦合，使得设计变化可以显着改变工艺流程，反之亦然。 例如，设置诸如驱动电容，偏转距离或校样质量等设备参数直接影响膜厚度，蚀刻速率，侧壁轮廓和软化的选择。 通常，这需要MEMS设计/工艺开发周期的多次迭代，这是昂贵且耗时的。 使用具有3D过程建模工具的虚拟制造可以实现更有效的方法，从而显着减少开发时间和学习周期的数量。