用于混合量子技术的稀土离子掺杂晶体在固态物理学界引起了越来越多的关注。 从理论上讲，我们已经提出了一种机械谐振器的混合方案，该方案是由掺稀土的单晶结构制成的。 稀土离子掺杂剂具有对晶体应变敏感的吸收能，因此可以将离子耦合到晶体悬臂的弯曲运动。 这种类型的谐振器可用于研究与物质物体有关的量子物理学定律，或用于诸如敏感力传感器的应用。 在这里，我们介绍了基于聚焦离子束刻蚀技术的设计和制造方法，我们已经成功采用了聚焦离子束刻蚀技术来创建这样的微型谐振器，并且设计了可以研究谐振器量子行为的环境。