周期性微纳米结构阵列可以显著改变金属零件的表面性能。提出一种以电泳法制备胶体粒子掩膜、在其间隙中电沉积金属制作微坑阵列的工艺,采用有限元仿真和试验对胶体粒子掩膜电沉积过程进行了研究,并对改善微坑阵列均匀性的工艺进行了探讨。结果表明:电流密度和沉积时间影响微坑形貌和均匀性;电沉积过程中的析氢副反应是影响掩膜粒子能否在基底上保持的主要因素;适当的热处理工艺可改善胶体粒子掩膜电沉积微坑阵列的均匀性。