ECR-MOPECVD生长GaN薄膜中的发射光谱分析,符斯列,陈俊芳,分析了ECR氮气、及氮气与三钾基镓混合气体的等离子体发射光谱,结果显示ECR等离子体中的三钾基镓气源在常温下就发生了强理解。为了