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MEMS即微机电系统,是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。其中,微米级立体结构是利用被称为“微加工”的特殊工艺实现的微米大小的立体机械结构。因为技术和经济的原因,MEMS传感器曾经被

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