单晶硅纳米刻划加工机理的分子动力学仿真研究
单晶硅纳米刻划加工机理的分子动力学仿真研究，张俊杰，王站峰，理解单晶硅片纳米刻划加工机理对于提高单晶硅片机械加工质量具有重要的理论意义与实用价值。本文采用分子动力学仿真方法研究了单
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