单晶硅纳米刻划加工的试验研究,张俊杰,姜雨琦,本文采用MTS Indenter XP和圆锥探针对具有(010)、(110)和(111)三种不同晶体取向的单晶硅进行了纳米压痕和纳米刻划试验,研究了材料微观变形