微电子机械系统（MEMS）是一种新兴技术，将微机械结构与集成电路（IC）集成在一起。 在过去的二十年中，它已Swift发展成为科学家和工程师中的重要研究领域。 通常，MEMS的主要组件是传感器，执行器和全部具有微尺度的结构。 光致伸缩材料具有很高的潜力，可用于MEMS应用中以开发先进的光学致动器。 当光致伸缩材料被高强度光照射时，会引起应变，这被称为光解。 这种现象通常可以描述为光伏效应和会聚压电效应的组合效应。 当入射光撞击光致伸缩材料时，会产生光电压，并且该光电压会在材料中产生应变。 掺有WO3的镧改性的钛酸锆钛酸铅（Pb，La）（Zr，Ti）O3陶瓷，称为PLZT，是一种光致伸缩陶瓷，具