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Introduction to Microelectromechanical System
关于MEMS技术的原理及应用各项描述，使我们更好的了解他的作用和其他功能
5G 通信时代 射频滤波器的原理和实现方法， 通信基础，信号通道，工艺实现，市场调研，代表产商，未来路线图，国内的科学技术研究单位，国内的产业化现状，国际上先进的代表产商的产品技术特点和下一代技术的演
东南大学mems课件 微电子机械系统工程导论 An Introduction to Micro-Electro-Mechanical Systems Engineering
很好的入门教材,是学习微机电系统的好资源！！
ADIMEMS应用场景，
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MEMS传感器性能提高相关技术研究,能够为初学者提供很好的MEMS传感器方面的知识，有助于科研和教学！
有关基于硅材料的微机电系统的材料选取、工艺流程以及设计
文章介绍了MEMS的一些特点;
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