集群磁流变效应微磨头平面研抛加工技术的研究,阎秋生,汤爱军,本文提出集群磁流变效应微磨头平面抛光新方法,进行了相应的基础研究,验证了这一平面研抛加工新技术的可行性和优越性。在一定实