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中科院MEMS课件,主要讲述工艺知识以及首例分析。。。
体内微机电无线能量传输系统初次级绕组非对称效应分析,胡广华,薛凯峰,在面向体内微机电的感应式无线供能系统中,初次级线圈以松耦合的方式进行磁链交连,由于次级线圈截面尺寸远小于初级线圈,可以认
为实现微型化、抗电磁干扰、可长时间工作和可远距离传输的加速度传感器,提出了一种基于微机电系统(MEMS)非对称扭镜结构的光纤加速度计设计方案,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度变化
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