硅微通道结构释放中湿法腐蚀特性研究,崔丹丹,端木庆铎,电化学刻蚀技术是制作硅微通道结构最常见的技术,此技术制备出的硅微通道结构是不通透的,需要通过结构释放中湿法腐蚀的方法把硅