基于数值模拟方法的单晶硅表面微构型制造研究

yuyukaola 9 0 PDF 2020-07-21 02:07:47

基于数值模拟方法的单晶硅表面微构型制造研究,韩雪松,,显微探针技术的突破以及高端MEMS的性能需求促使微纳尺度三维表面结构/构型制造技术的研究不断深入。随着器件尺度的不断缩小,表面�

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