Al-Mg-B 合金硬度的实验与理论研究,蒋雪,曲文超,本文采用多靶射频磁控共溅射技术,以高纯度Al (99.99%),Mg (99.95%),B (99.9%) 材料为溅射靶源,在单晶Si (100)衬底上溅射沉积得到表面均匀�