用于气体分析的微悬臂传感芯片的加工、修饰与功能化,龙舟,曾晓亮,基于科学研究和生产生活的需要,气体传感器的研发和应用始终受到人们的广泛关注。微悬臂传感器,由于具有体积小、成本低、灵敏度