硅基钕掺杂钛酸铋膜的划痕试验与三维有限元模拟,彭冰川,周益春,划痕法作为一种半定量的方法,现在广泛应用于评价薄膜或涂层的性能好坏。在相同条件下,利用划痕法得到的临界载荷,可以作为薄膜