58纳米闪存产品后段缺陷降低研究,郭贤权,黄其煜,闪存产品拥有高可靠性,高速擦写,低成本等优势,可广泛运用于通信,医疗,汽车和家电等领域。本产品因其工艺需要,其后段铜线最