热处理温度对Pd掺杂SnO2薄膜的微结构和H2气敏特性的影响,沈岩柏,范安锋,本文考察了热处理温度对Pd掺杂SnO2溅射薄膜的微结构和H2气敏特性的影响。研究结果表明,沉积后的非晶态薄膜在热处理温度高于350℃以�