MEMS技术是一个新兴技术领域，主要属于微米技术范畴。MEMS技术的发展已经历了10多年时间，大都基于现有技术，用由大到小的技术途径制作出来的，发展了一批新的集成器件，Aigtek功率放大器驱动微机电系统，大大提高了器件的功能和效率，已显示出了巨大的生命力。MEMS技术的发展有可能会像微电子一样，对科学技术和人类生活产生革命性的影响，尤其对微小卫星的发展影响更加深远，必将为大批量生产低成本高可靠性的微小卫星打开大门。 Aigtek功率放大器在MEMS技术测试方面，ATA-2021H是一款可放大交直流信号的单通道高压功率放大器。最大输出200Vp-p (±100V)高压，可以驱动高压型负载。电