氢化纳米硅薄膜中的本征应力,韦文生,王天民,氢化纳米硅薄膜作为一种非常有潜力的硅光电材料,吸引了人们广泛的关注。本工作中,使用等离子体增强化学气相沉积技术把纳米硅薄