光栅尺原理 光學尺原理的探討
本專題在於探討光學尺Linear scaler(亦稱為線性編碼器Linear encoder),目的為了解光學尺的原理及組裝,將微米(1μm)解析度的光學尺組裝在氣浮XYZ平台上作為三次元量測之用。 光學尺之主副尺是利用玻璃製透明板所構成,上刻有具有相當多等間隔之平行線,較長一片固定不動稱為主尺,另外一片則可移動稱為副尺。當光源經瞄準透鏡聚光後,再經副尺及主尺,而直射光偵測器,光偵測器如只一個,只能量測位移量,光偵測器如有二個,則可進行電路分割,並能察知位移為向左或向右,目前通常光偵測器都增為四至八個, 可以做信號分割處理以得到很精密的量測結果。四個光偵測器所接收到的光強度受副尺及主尺交錯時產
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