基于硅纳米结构膜的酒精传感器,吕扬,张贺秋,采用化学气相输运方法在蓝宝石衬底上制备了高密度硅纳米结构膜,通过扫描电子显微镜(SEM)对其形貌进行了表征。结果表明这种硅纳