基于分子动力学的单晶硅表面微结构的刻划仿真,张霖,马智超,微机电技术的飞速发展促使微纳尺度三维表面结构及构型技术研究的不断深入。当被加工工件的尺寸达到纳米量级时,由于尺寸效应、量