氢等离子体的特性诊断和分析

qq_59469 9 0 PDF 2020-07-22 18:07:03

氢等离子体的特性诊断和分析，杨春林，陈俊芳，在微波等离子化学气相沉积装置中，分析了反应室内等离子密度空间分布以及等离子密度与气压和功率的关系，以及适合金刚石薄膜沉积