晶圆的高温氧化物层均匀性提高方法的研究,王燕军,黄其煜,本文讲述了几种提高晶圆的高温氧化物层均匀性的方法。通过用49%高浓度的氢氟酸对晶舟清洗30分钟可以提高其均匀性从3.69%到2.24%,通过