工作气压对磁控溅射法制备硼碳氮薄膜结晶性能的影响,龚恩乐,于杰,本试验用六方氮化硼和石墨靶材采用射频(频率为13.56MHz)磁控溅射法沉积硼碳氮薄膜。得到的硼碳氮薄膜可用红外,拉曼和X射线光电子