集成电路制造技术 经典资料
别的不说了，经典资料，看了之后你要有钱也可开家fab
文件列表
si technology.zip
(预估有个12文件)
si technology
#06Oxidation_Chpt6.pdf
457KB
#02CMOS_Chpt2.pdf
130KB
#08Implant_Chpt8.pdf
517KB
#04Cleaning_Chpt4.pdf
97KB
#01Intro_Chpt1.pdf
565KB
_desktop.ini
10B
#11Backend_Chpt11.pdf
391KB
#10Etch_Chpt10.pdf
94KB
#09Deposition_Ch9.pdf
244KB
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