Cu/Zr纳米多层膜的应变速率敏感性及模型分析,牛佳佳,张金钰, 采用纳米压入法系统研究了Cu/Zr多层膜的硬度、应变速率敏感系数、激活体积随调制周期和调制比的变化。测试结果表明该三个力学参量