基于生产线平衡的多重入晶圆制造系统动态投料策略研究,郭永辉,邵志芳,为克服传统投料策略的缺点,提出基于生产线平衡的动态投料策略思想,并从追求负荷平稳的角度,给出了多重入晶圆生产线平衡的新定