论文研究 Piezoelectric platform control method based on micro visual sensing.pdf

基于显微视觉传感的压电平台控制方法，王玉亮，崔晓蒙，在压电平台精密定位领域中，压电陶瓷自身的迟滞、蠕变特性以及机械系统的误差等多种因素影响其定位精度。而视觉传感具有精度高、山国武技论文在丝XaYdXRadial index山国武技论文在丝山国武技论文在丝E709 ControllerPositioner withObjective LensHost ComputeDA BoardPiezoelectricPower SupplyPositioning platformMicroscopeFrame GrabberCamera山国武技论文在丝ImageImageClosedd loopAcquisitionProcessingControlTriggerMcas stop?Motion start?Meas start?magePosition errorTransferGrabPID ControllerMeas startTriggereas_ stopDA ConversionArnageProcessingDisplayAmplifierMotion startOutputN)th image(N+1)th image(N+2) th imageGrabDisplayGrabDisplayGrabDisplayTransfer CalculationTransfer CalculationTransfer山国武技论文在丝131120001400014Q001E00CR山国武技论文在丝山国武技论文在丝李庆祥王东生李玉和现代精密仪器设计北京清华大学出版社张春雷刘健王绍治等.前馈控尙算法校正相移微动台非线性运动」电子测量与仪器学报张桂林压电定位平台的建模与控制方法研究山东大学邓芳明何怡刚张朝龙等.低功耗全数字电容式传感器接口电路设计[].仪器仪表学报毛尚勤微操作系统的机器视觉与无标定视觉伺服研究华中科技人学赵玮宗光华毕树生微操作机器人的视觉伺服控制机器人张祥通基于视觉的智能柔性结构的振动测量及控制研究广州:华南理工大学,刘艳梅金博伟魏阳杰薜定宇董再励基于显微视觉的亚像素压电陶瓷驱动特性测量仪器仪表学报李茂,毕树生,王玉亮,李晓来二维解耦柔性精密定位平台设丬机械设计与利造基于显微视觉传感的压电平台控制方法王玉亮,崔晓蒙2北京航空航天大学机械工程及自动化学院,北京摘要:在压电平合精密定位领域中,压电陶瓷自身的迟滞、蠕变特性以及机械系统的误差等山国武花记文在丝多种因素影响其定位精度。而视觉传感具有精度高、非接触、结果直观等优点,将视觉伺服技术应用于压电平台控制可一次性消除所有误差因素。现有的基于视觉传感的微位移控制系统大多为一维或二维运动控制系统,而且存在图像处理帧率较低,定位精度不高,和运动行程较小等缺点。因此课题组针对三维压电平合,设计了基于显徽视觉传感的位移测量与运动控制系统。应用高速相机以帧秒以上的速度采集微求在显微镜下的离信图像,诵过图像处理实时地获取平台的三维位置信息,并将其引入运动控制系统,由增量式算法计算并输出位移,实觋了闭环条件下对压电平台精确、快速、稳定的定位。实验表明,应用该控制方法,三维压电平合在的行程内实现了的定位精度。关键词:测试计量技术及仪器:压电平台;祝觉传感;闭环控制;纳米定位中图分类号