矩形衍射光栅的结构参数偏差对衍射场分布的影响,敬嘉雷,陆振刚,矩形衍射光栅的结构参数决定其衍射场分布,而实际光栅结构参数的加工误差将导致光栅的衍射场分布偏离预期。为了给矩形光栅结构参