氢气感性耦合等离子体模式跳变的流体模拟,徐会静,张钰如,本文采用流体模型与电磁理论相耦合的方法,研究了平面线圈感性耦合氢气等离子体放电的模式转换特性。通过调节线圈电流,我们观察