随着电子技术、 宇航、 生物工程等学科的发展,对精密机械的精度要求越来越高,要求精密机械和检测设备具有亚微米甚至纳 米精度。使微位移技术得到迅速发展,主要介绍了电致伸缩微位移器的原理和应用。