硅通孔三维集成电路中的片上电源分配网络分析,刘升,施永荣,本文分析了硅通孔三维集成电路中的片上电源分配网络。首先利用矩量法得到了电源地硅通孔的等效电路模型。然后利用基于物理尺寸的