椭偏仪在薄膜材料研究中的应用,王慷慨,宋晨路,椭偏仪作为薄膜材料研究中一种高效、精准的研究手段,日渐在科研实验和工业生产中得到了广泛应用。本文以光度式椭偏仪为例,对其