液晶面板制造中的AMHS.pdf
AMHs即Automated Material Handling System,中文译作自动物 料搬运系统,也有称为天车系统的(Overhead Track System)。AMHS是基 于Clean Room (洁净室)内的自动化搬运,需要24/]~时对应,同事符合生 产线洁净间的厂房构造设计及H/W (硬件)S/W (软件)严格的规格,而 设计的高智能化自动化的物料、产品搬运系统和储存中转系统。目前这种类 似的系统应用范围比较广泛,比如机场的货物运输,制造业工厂的生产,甚 至图书馆的图书搬运等,都有相类似功能的设备系统。但目前AMHS应用最 为典型的还是在半导体及液晶面板制造
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