掺铒纳米晶硅发光器件电致发光机制的研究 ,刘海旭,张慧玉,本文目的在于研究掺铒纳米晶硅MIS结构电致发光的机制。采用多靶射频磁控共溅射结合后退火工艺制备了掺Er纳米晶硅MIS结构发光器件,�