光栅位移传感器的组成结构

位移测量是线位移测量和角位移测量的总称,位移测量在机电一体化制造系统中应用十分广泛。一般位移传感器主要有:电感传感器、电容传感器、感应同步器、光栅传感器、磁栅传感器、旋转变压器和光电编码盘等。其中,旋转变压器和光电编码盘只能测试角位移,其它几种传感器既有直线型位移传感器又有角度型位移传感器。 光栅位移传感器 光栅是一种新型的位移检测元件,是一种将机械位移或模拟量转变为数字脉冲的测量装置。它的特点是测量精确度高(可达±1μm)、响应速度快、量程范围大、可进行非接触测量等。其易于实现数字测量和自动控制,广泛用于数控机床和精密测量中。 光栅的构造 所谓光栅就是在透明的玻璃板上,均匀地刻出许多