亚像素测量系统可以在一定程度上补偿由硬件限制引起的余量定位误差。 建立了一种基于Zernike矩的圆外径亚像素测量系统。 提出了一种基于Zernike矩的圆形工件亚像素边缘检测算法,并通过二次多项式插值对边缘点在梯度方向上的进一步定位。 最后,通过使用拟合边缘点的最小二乘法获得亚像素精度的圆形外径测量值。 实验结果表明,该系统的测量精度较高,可以满足圆形工件高精度测量的要求。