半导体晶圆制造系统的时变多目标生产控制与实例分析,李衍飞,江志斌,半导体晶圆制造系统(SWFS)是典型的大规模复杂重入型制造系统。要解决SWFS全局生产调度优化及兼顾SWFS各区派工优化的实际问题,就必