半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化研究,李衍飞,江志斌,半导体晶圆制造系统(SWFS)是典型的大规模复杂重入型制造系统。随着现代SWFS自动化程度的提高,解决SWFS时变多目标生产调度的系统优