本文采用单片机智能控制系统的大功率超声波电源,可实现电源频率和输出电压的人工设定。单片机模拟输出的HPWM信号可简化硬件电路,大大提高系统的功率因数和效率;同时运用了HPWM控制方式与ZVS谐振软开关技术,降低了开关管的损耗,抑制了高次谐波,减小了换能器的损耗。