反应溅射氮化铁纳米晶薄膜的霍耳效应,米文博,封秀平,采用反应溅射法制备氮化铁纳米晶薄膜。随着氮气流量的增加,薄膜中的主要相从α-Fe(N)转变为ξ-Fe2N,导电机制也从金属性向半导体特性