本系统设计采用了雷尼绍圆光栅,不仅实现了角位移的非接触高精度测量,而且还具有安装简单,调试方便,测量精度高,抗干扰能力强等优点。该测量系统采用 DSP的QEP单元对圆光栅读数头输出信号进行4细分计数,进一步提高了测试精度,其线位移达1μm。