电容式MEMS麦克风读出电路设计

qq_56579 13 0 PDF 2020-08-16 11:08:06

在分析电容式MEMS麦克风工作原理的基础上,提出了一种低功耗、低噪声、高分辨率的电容式MEMS麦克风读出电路。

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